无油螺杆真空泵与罗茨往复机组的比较。

 

螺杆真空泵的极限真空度比罗茨往复式机组高出许多倍，有利于高真空要求的工艺。

 

罗茨往复式机组是分段启动，要达到主泵的抽速需要一定的预抽时间，总体效率不高。

 

3、往复泵是做活塞运动的，活塞环与腔有接触摩擦需要更换活塞环、进排气门，需要经常清洗，气体不干净时阀门容易堵塞，有发生事故的危险。螺杆真空泵下方无接触摩擦，且无需油水密封，且泵的过流部件全部采用纳米渗合金处理，具有耐腐蚀性，是往复泵的更新换代产品。

 

螺杆真空泵的价格略高于罗茨往复式真空机组，但使用成本低，工作效率高。

 

罗茨往复式机组比螺杆式真空泵噪音大，占地面积大。